| 发明名称 | 玻璃基板烘烤装置 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种玻璃基板烘烤装置，用于对基板进行烘烤，所述烘烤装置包括本体、供气组件、与供气组件相对设置的排气组件以及第一保温层，所述本体设有腔体、顶盖及与顶盖连接的周侧板，所述周侧板上设有入口与入口相对的出口，所述供气组件与排气组件设于所述周侧板并与腔体贯通，所述第一保温层覆盖所述周侧板外侧、顶盖外侧及/或所述腔体的内壁上。 | ||
| 申请公布号 | CN105116570A | 申请公布日期 | 2015.12.02 |
| 申请号 | CN201510585090.X | 申请日期 | 2015.09.15 |
| 申请人 | 武汉华星光电技术有限公司 | 发明人 | 方仲贤;熊燕军;徐涛 |
| 分类号 | G02F1/13(2006.01)I | 主分类号 | G02F1/13(2006.01)I |
| 代理机构 | 广州三环专利代理有限公司 44202 | 代理人 | 郝传鑫;熊永强 |
| 主权项 | 一种玻璃基板烘烤装置，用于对基板进行烘烤，其特征在于，所述烘烤装置包括本体、供气组件、与供气组件相对设置的排气组件以及第一保温层，所述本体设有腔体、顶盖及与顶盖连接的周侧板，所述周侧板上设有入口与入口相对的出口，所述供气组件与排气组件设于所述周侧板并与腔体贯通，所述第一保温层覆盖所述周侧板外侧、顶盖外侧及/或所述腔体的内壁上。 | ||
| 地址 | 430070 湖北省武汉市东湖开发区高新大道666号生物城C5栋 | ||