| 发明名称 | 用于雾度消除和残留物去除的包括水蒸气的方法 | ||
| 摘要 | 一种处理衬底的方法，该方法包括：利用处理方案从衬底中去除材料以提供经处理的衬底，接着进行漂洗步骤。在漂洗步骤中，引入包括漂洗流体的至少一个流，并且使水蒸气与该漂洗流体碰撞并使该漂洗流体雾化。使经雾化的漂洗流体以漂洗方式接触该经处理的衬底。 | ||
| 申请公布号 | CN105121040A | 申请公布日期 | 2015.12.02 |
| 申请号 | CN201480018939.9 | 申请日期 | 2014.04.17 |
| 申请人 | 东京毅力科创FSI公司 | 发明人 | 杰弗里·M·劳尔哈斯;东·卡哈阿娜 |
| 分类号 | B08B3/02(2006.01)I | 主分类号 | B08B3/02(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人 | 蔡胜有;苏虹 |
| 主权项 | 一种处理衬底的方法，包括：a)利用处理方案从衬底中去除材料以提供经处理的衬底；b)引入包括漂洗流体的至少一个流；c)使水蒸气碰撞所述漂洗流体并使所述漂洗流体雾化；以及d)使经雾化的漂洗流体以漂洗方式接触所述经处理的衬底。 | ||
| 地址 | 美国明尼苏达州 | ||