半导体器件和西格玛-德尔塔回路MEMS获取

摘要

半导体器件在感测结点处测量MEMS的状态作为第一电压变化。MEMS的状态包含电容。第一电容器被耦合在感测结点和积分器的输入之间用于将第一电压变化传递到第二结点作为第一信号。第二电压变化通过第二电容器路由到第二结点作为第二信号。积分器将第一信号和第二信号积分以提供积分信号。ADC具有耦合到积分器的输出的输入并且将积分信号转换到表示MEMS的电容的数字信号。DAC具有耦合到ADC的输出的输入。第二电容器耦合在DAC的输出和感测结点之间。

主权项

一种用于微机电系统（MEMS）的测量电路，包括：感测结点，用于测量所述MEMS的状态；积分器；第一电容器，耦合在所述感测结点和所述积分器的输入之间；模数转换器（ADC），包含耦合到所述积分器的输出的输入和提供表示所述MEMS的状态的数字信号的输出；数模转换器（DAC），包含耦合到所述ADC的输出的输入；以及第二电容器，耦合在所述DAC的输出和所述感测结点之间。