METHOD AND DEVICE FOR REMOVING BRITTLE-HARD MATERIAL WHICH IS TRANSPARENT TO LASER RADIATION, BY MEANS OF LASER RADIATION

摘要

본 발명은 레이저 방사선을 이용하여 상면과 하면 사이의 정해진 두께의 공간 체적을 보유하는 취성 경질 재료를 제거하기 위한 방법에 관한 것이며, 재료는 자신의 두께보다 크거나 같은 정의된 광학 침투 깊이를 갖는다. 레이저 방사선은 상면의 표면 법선에 상대적으로 정의된 입사각으로 입사되며, 요컨대 상기 레이저 방사선은 일차 레이저 방사선으로서 지칭된다. 일차 레이저 방사선은 재료의 하면 상에서 적어도 부분적으로 반사되며, 그럼으로써 재료의 체적 내에서 반사를 통해 이차 레이저 방사선이 생성된다. 취성 경질 재료의 가공을 위해, 상기 재료는 하면 상에서 추가 재료에 의해 형상 결합 방식으로 지지된다. 또한, 본 발명은 상응하는 장치에도 관한 것이다.