发明名称 基板処理装置
摘要
申请公布号 JP5826684(B2) 申请公布日期 2015.12.02
申请号 JP20120057112 申请日期 2012.03.14
申请人 株式会社SCREENホールディングス 发明人 相原 友明;土谷 慶一;前川 直嗣
分类号 H01L21/677;H01L21/304;H01L21/306 主分类号 H01L21/677
代理机构 代理人
主权项
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