| 发明名称 |
正型光刻胶清除液组合物 |
| 摘要 |
本发明提供了一种正型光刻胶清除液组合物，它包括：a)1-20重量份的N，N-二乙基羟胺；b)1-70重量份的二甘醇单烷基醚；c)1-5重量份的[式1]所示的化合物；d)通过如下单体i)-iii)自由基聚合得到的共聚物；<img file="DSA00000750265800011.GIF" wi="609" he="349" />[式1]，其中R’为氢，或具有1至4个碳原子的烷基，i)30-70重量％N-乙烯基内酰胺，ii)15-35重量％乙酸乙烯酯，和iii)10-35重量％聚醚。本发明正型光刻胶清除液组合物不腐蚀基板、且能有效地除去光刻胶膜，因此具有很强的实用性。 |
| 申请公布号 |
CN103383529B |
申请公布日期 |
2015.12.02 |
| 申请号 |
CN201210247558.0 |
申请日期 |
2012.07.18 |
| 申请人 |
张峰 |
发明人 |
张峰 |
| 分类号 |
G03F7/42(2006.01)I |
主分类号 |
G03F7/42(2006.01)I |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
一种正型光刻胶清除液组合物，其特征在于由a)1‑20重量份的N，N‑二乙基羟基胺、b)1‑70重量份的二甘醇单烷基醚、c)1‑5重量份的[式1]所示的化合物、d)通过如下单体i)‑iii)自由基聚合得到的共聚物组成；<img file="FSB0000140808300000011.GIF" wi="493" he="264" />[式1]，其中R’为氢，或具有1至4个碳原子的烷基，i)30‑70重量％N‑乙烯基内酰胺，ii)15‑35重量％乙酸乙烯酯，和iii)10‑35重量％聚醚，聚醚是聚亚烷基二醇。 |
| 地址 |
315171 浙江省宁波市鄞州区集士港镇商贸路创业园区306室 |
