一种利用工业含氟尾气酸提取超纯氟硅酸及二氧化硅的方法

摘要

本发明公开了一种利用工业含氟尾气酸提取高纯氟硅酸及二氧化硅的方法，本发明涉及化工领域，本发明利用尾气酸同时生产出高纯度的氟硅酸和二氧化硅，工艺上是一个创造性的突破。本发明先将尾气酸生成固体氟盐，通过生成固体氟盐步骤，能得到高纯度的氟化物，然后将固体氟盐加热分解，产生较纯的四氟化硅气体，分解后得到四氟化硅气体中HCL、SO4等杂质含量都比较少。再将四氟化硅气体净化，使之达到较高的纯度。最后用超纯水吸收四氟化硅气体，生成超纯氟硅酸和超纯二氧化硅。本发明具有生产工艺流程新颖、提取的氟硅酸和二氧化硅纯度高的优点。

主权项

一种利用工业含氟尾气酸提取超纯氟硅酸及二氧化硅的方法，其特征是：包括以下步骤：步骤一、将能与氟硅酸反应生成氟硅酸盐的无机盐或无机碱与工业含氟尾气酸混合，充分反应后生成氟硅酸盐沉淀物；步骤二、将氟硅酸盐沉淀物离心脱水，并用水洗去附着在氟硅酸盐沉淀物上的杂质；步骤三、将氟硅酸盐沉淀物放入干燥器内干燥至含水量1%以下，得到干燥的氟硅酸盐；步骤四、将干燥的氟硅酸盐放入分解炉内加热分解，温度范围为350℃至950℃之间，氟硅酸盐分解产生四氟化硅气体和无机氟盐；步骤五、将四氟化硅气体引入气体净化器，除去四氟化硅气体中的杂质；步骤六、将经过净化处理的四氟化硅气体用超纯水多级鼓泡吸收，生成超纯氟硅酸和超纯二氧化硅沉淀物；步骤七、将超纯氟硅酸和超纯二氧化硅沉淀物进行固液分离，使用过滤设备将二氧化硅沉淀物滤出，余液为超纯氟硅酸，沉淀物用水洗去附着的氟硅酸，干燥后即得超纯固体二氧化硅;所述的步骤五中引入气体净化器的四氟化硅气体是经步骤四加热的、尚未冷却的四氟化硅气体;所述的步骤五中将四氟化硅气体引入气体净化器后，在气体净化器中加入极少量水，使四氟化硅气体水解出二氧化硅，并通过多孔性的二氧化硅吸附四氟化硅气体中的杂质。