主权项 |
升温推结扩散工艺,其特征为,其具体步骤如下: (1)开始:时间5~20 s,温度760~790 ℃,大氮流量4~12 L/min;(2)进舟:时间600~1000 s,温度760~790 ℃,大氮流量4~12 L/min,进舟速度300~700 mm/min;(3)快速升温:时间300~1000 s,温度760~790 ℃,大氮流量6~25 L/min,升温速率≥10 ℃/min;(4)前氧化:时间200~800 s,温度760~790 ℃,大氮流量6~25 L/min,氧气流量1~5 L/min;(5)升温沉积:时间800~2000 s,温度790~810 ℃,大氮流量6~25 L/min,小氮流量0.8~3 L/min,氧气流量0.3~3 L/min,升温速率≥10 ℃/min;(6)升温推结:时间400~1300 s,温度830~880 ℃,大氮流量6~25 L/min,氧气流量0~2 L/min,升温速率≥10 ℃/min;(7)冷却:时间300~2000 s,温度700~800 ℃,大氮流量6~25 L/min,氧气流量1~5 L/min;(8)出舟:时间700~1200 s,温度700~800 ℃,大氮流量4~12 slm,进舟速度200~500 mm/min;(9)结束:时间5~20 s,温度760~800 ℃,大氮流量4~12 L/min。 |