用于提供加热的蚀刻溶液的处理系统和方法

摘要

本发明的实施方案提供了一种用于用加热的蚀刻溶液处理衬底的处理系统和方法。在一个实施例中，提供了对酸性蚀刻溶液的温度和水含量的严格控制。根据一个实施方案，所述方法包括：在第一循环回路中形成加热的蚀刻溶液；在处理室中提供加热的蚀刻溶液以处理衬底；在第二循环回路中形成另外的加热的蚀刻溶液；以及将另外的加热的蚀刻溶液供应至第一循环回路。根据一个实施方案，所述处理系统包括：用于用加热的蚀刻溶液处理衬底的处理室；用于向处理室提供加热的蚀刻溶液的第一循环回路；以及用于形成另外的加热的蚀刻溶液并且将另外的加热的蚀刻溶液供应至第一循环回路的第二循环回路。

主权项

一种在处理室中提供加热的蚀刻溶液的方法，所述方法包括：在第一循环回路中形成所述加热的蚀刻溶液；在所述处理室中提供所述加热的蚀刻溶液用于处理衬底；在第二循环回路中形成另外的加热的蚀刻溶液；以及将所述另外的加热的蚀刻溶液供应至所述第一循环回路。