一种气体流量控制系统

摘要

本实用新型为一种气体流量控制系统，由气阀(1)、过滤器(2)、三通A(3)、稳压阀(4)、三通B(5)、质量流量计(6)、三通C(7)、背压阀(8)、单向阀(9)、测压元件A(10)、测压元件B(11)及测压元件C(12)组成，使用时，打开进气阀(1)，分别通过稳压阀(4)和背压阀(8)控制质量流量计(6)入口和出口的压力，保证质量流量计(6)前后压差稳定。该装置结构简单、易于操作、流量控制稳定。

主权项

一种气体流量控制系统，包括进气阀(1)、过滤器(2)、三通A(3)、稳压阀(4)、三通B(5)、质量流量计(6)、三通C(7)、背压阀(8)、单向阀(9)、测压元件A(10)、测压元件B(11)及测压元件C(12)，其特征在于：所述的进气阀(1)的出口通过管线与过滤器(2)的入口相连，所述的过滤器(2)的出口通过管线与三通A(3)的1端相连，所述的三通A(3)的3端通过管线与测压元件A(10)相连，三通A(3)的2端通过管线与稳压阀(4)的入口相连，所述的稳压阀(4)的出口通过管线与三通B(5)的1端相连，所述的三通B(5)的3端通过管线与测压元件B(11)相连，三通B(5)的2端通过管线与质量流量计(6)的入口相连，所述的质量流量计(6)的出口通过管线与三通C(7)的1端相连，所述的三通C(7)的3端通过管线与测压元件C(12)相连，三通C(7)的2端通过管线与背压阀(8)的入口相连，所述的背压阀(8)的出口通过管线与单向阀(9)的入口相连，所述的单向阀(9)的出口通过管线与反应系统相连。