固定圆板及真空泵

摘要

本发明提供一种固定圆板及具备该固定圆板的真空泵，所述固定圆板具备使排气效率提高的连通孔，所述真空泵具备西格巴恩型分子泵部。涉及本发明的实施方式的真空泵具有西格巴恩型分子泵部，在配设的固定圆板上，具备使该固定圆板的轴线方向上的上方空间（吸气口侧区域、上游侧区域）和下方空间（排气口侧区域、下游侧区域）连通的连通孔。

主权项

一种固定圆板，所述固定圆板被用于将气体从吸气口侧向排气口侧移送的第1气体移送机构，通过与旋转圆板的相互作用，形成螺旋状槽排气部，其特征在于，在前述固定圆板和前述旋转圆板的对置面的至少一部分上，形成有具有谷部和峰部的螺旋状槽，在前述固定圆板的内周侧的部分上，具有将前述吸气口侧和前述排气口侧贯通的连通孔。