MEMS麦克风和MEMS声学传感芯片

摘要

本实用新型公开了一种MEMS麦克风和MEMS声学传感芯片。该MEMS声学传感芯片固定于线路板的上方，包括至少两个MEMS单元；MEMS单元包括基底，基底包括顶盖和侧壁，顶盖和侧壁围成底部开口的第一腔体，MEMS单元还包括设置于第一腔体内的构成电容结构的背板及振膜；相邻的MEMS单元之间共用部分侧壁并且共用部分的侧壁的底端开设有第一缺口，以使全部第一腔体连通形成第二腔体；线路板在第二腔体的下方开设有声孔。本实用新型利用至少两个MEMS单元增大了检测电容的面积，并且MEMS单元共用声孔使得进入到各个MEMS单元内部的声音的能量相同，能够明显降低麦克风产品在高频部分的相位误差。

主权项

一种MEMS麦克风，包括：外壳(1)、线路板(100)、以及MEMS声学传感芯片(300)；所述MEMS声学传感芯片(300)固定于所述线路板(100)的上方，所述外壳(1)和线路板(100)围成腔体(11)将所述MEMS声学传感芯片(300)封装在内；所述MEMS声学传感芯片(300)包括至少两个MEMS单元(301)；所述MEMS单元(301)包括基底，所述基底包括顶盖(303)和侧壁(304)，所述顶盖(303)和侧壁(304)围成底部开口的第一腔体(302)，所述MEMS单元(301)还包括设置于第一腔体(302)内的构成电容结构的背板及振膜；相邻的MEMS单元(301)之间共用部分侧壁(304)并且共用部分的侧壁(304)的底端开设有第一缺口(305)，以使全部所述第一腔体(302)连通形成第二腔体；所述线路板(100)在所述第二腔体的下方开设有声孔(101)。