| 发明名称 | 无定形氧化物和场效应晶体管 | ||
| 摘要 | 本发明涉及无定形氧化物和场效应晶体管。所述无定形氧化物包含从由Li、Na、Mn、Ni、Pd、Cu、Cd、C、N、P、Ti、Ru和F所构成的组中选择的至少一种元素，并且所述无定形氧化物的电子载流子浓度为10<sup>12</sup>/cm<sup>3</sup>或更高且低于10<sup>18</sup>/cm<sup>3</sup>。其中，所述无定形氧化物是从由以下所构成的组中选择的任一种：包含从In、Zn和Sn中选择的至少一种元素的氧化物；含有In、Zn和Sn的氧化物；含有In和Zn的氧化物；含有In和Sn的氧化物；含有In的氧化物；以及包含In、Ga和Zn的氧化物。 | ||
| 申请公布号 | CN102938420B | 申请公布日期 | 2015.12.02 |
| 申请号 | CN201210322249.5 | 申请日期 | 2005.11.09 |
| 申请人 | 佳能株式会社;国立大学法人东京工业大学 | 发明人 | 佐野政史;中川克己;细野秀雄;神谷利夫;野村研二 |
| 分类号 | H01L29/786(2006.01)I;H01L21/428(2006.01)I;H01L21/363(2006.01)I | 主分类号 | H01L29/786(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人 | 屠长存 |
| 主权项 | 一种场效应晶体管，包括作为有源层的无定形氧化物膜，其中，所述无定形氧化物膜包含从由Li、Na、Mn、Ni、Pd、Cu、Cd、C、N、P、Ti、Ru和F所构成的组中选择的至少一种元素，并且具有10<sup>12</sup>/cm<sup>3</sup>或更高且低于10<sup>18</sup>/cm<sup>3</sup>的电子载流子浓度，以及其中，所述无定形氧化物膜是从由以下所构成的组中选择的任一种：含有In、Zn和Sn的氧化物；含有In和Zn的氧化物；含有In和Sn的氧化物；含有In的氧化物；以及包含In、Ga和Zn的氧化物。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||