合并多个几何像素图像并生成单个调制器像素图像的方法

摘要

本发明涉及定制专用工件，比如芯片、平板或其它通过直接写入自定义图案而在基板上生产的电子装置。定制可以按装置、按基板、按批次进行或者用于其它一些无法使用自定义掩模或掩模组的小型存储媒体。特别地，本发明涉及定制在基板上的辐射敏感层中形成的潜像，合并标准图案数据和自定义图案数据以形成用于生产定制的潜像的自定义图案。很多种基板可得益于本发明所公开的技术。

主权项

一种在基板上的辐射敏感层中形成自定义潜像的方法，所述方法包括：在第一数据通路上接收标准图案数据；在第二数据通路上接收自定义图案数据；将标准图案数据和自定义图案数据合并以形成合并的光栅化图案数据，所述合并的光栅化图案数据代表将在辐射敏感层中形成的物理自定义潜像；并且使用直接写入装置由合并的光栅化图案数据在辐射敏感层中形成自定义潜像，其特征在于，所述合并包括通过对接受的标准图案数据和自定义图案数据重采样而进行的合并，其中，与标准图案数据和自定义图案数据分别相关联的多个栅格被重采样至共同的栅格和瓦片，从而通过重采样实现了合并，所述重采样的目的是允许不匹配的像素栅格合并。