玻璃基板保持用膜体及玻璃基板的研磨方法

摘要

本发明涉及一种玻璃基板保持用膜体，通过借助双面胶粘片将自吸附型片粘贴在背板上而构成，并且玻璃基板吸附保持于所述自吸附型片上，其中，所述双面胶粘片包含配置在同一面内的多片双面胶粘片，该多片双面胶粘片以相邻的双面胶粘片各自隔开预定间隙的方式粘贴在所述自吸附型片和所述背板上。

主权项

一种玻璃基板保持用膜体，通过借助双面胶粘片将自吸附型片粘贴在背板上而构成，并且玻璃基板吸附保持于所述自吸附型片上，其中，所述双面胶粘片包含配置在同一面内的多片双面胶粘片，且至少两片双面胶粘片重叠贴合，同一面内的多片双面胶粘片以各自隔开预定间隙的方式粘贴，并且，双面胶粘片之间的预定间隙与在双面胶粘片的层叠方向上相邻的双面胶粘片之间的预定间隙在双面胶粘片的层叠方向上不重合。