发明名称 |
一种抗氧化正面电极太阳能电池及其制备方法 |
摘要 |
本发明公开了一种抗氧化正面电极太阳能电池的制备方法,包括如下步骤:a)对硅片依次进行制绒、热扩散制p-n结和去磷硅玻璃;b)在硅片正面的N+层表面丝网印刷若干条副栅线并烧结;c)用PECVD设备在硅片正面沉积SiNx减反膜,SiNx减反膜覆盖硅片正面100%的面积,将若干条副栅线和N+层表面完全覆盖;d)在硅片背面的P型硅表面丝网印刷Al背场和Ag背电极;e)在SiNx减反膜表面丝网印刷若干条主栅线;f)对硅片进行高温烧结。本发明具有副栅线隔绝外界的氧气,有效保护正面电极,同时提高了SiNx减反膜的有效面积,提高表面钝化效果的优点。本发明还提供一种低反射率晶体硅太阳能电池。 |
申请公布号 |
CN105118891A |
申请公布日期 |
2015.12.02 |
申请号 |
CN201510507896.7 |
申请日期 |
2015.08.18 |
申请人 |
广东爱康太阳能科技有限公司 |
发明人 |
石强;秦崇德;方结彬;黄玉平;何达能;陈刚 |
分类号 |
H01L31/18(2006.01)I;H01L31/0216(2014.01)I;H01L31/0224(2006.01)I;H01L31/068(2012.01)I |
主分类号 |
H01L31/18(2006.01)I |
代理机构 |
佛山市中迪知识产权代理事务所(普通合伙) 44283 |
代理人 |
张伶俐 |
主权项 |
一种抗氧化正面电极太阳能电池的制备方法,其特征在于,包括如下步骤:a)对硅片依次进行制绒、热扩散制p‑n结和去磷硅玻璃;b)在硅片正面的N+层表面丝网印刷若干条副栅线并烧结;c)用PECVD设备在硅片正面沉积SiNx减反膜,SiNx减反膜覆盖硅片正面100%的面积,将若干条副栅线和N+层表面完全覆盖;d)在硅片背面的P型硅表面丝网印刷Al背场和Ag背电极;e)在SiNx减反膜表面丝网印刷若干条主栅线;f)对硅片进行高温烧结。 |
地址 |
528100 广东省佛山市三水工业园区C区69号 |