用于硅片的多线切割机

摘要

本实用新型公开了一种可以提高硅片切割质量的用于硅片的多线切割机。该多线切割机包括切割箱体、砂浆桶、热交换器、金属线，砂浆桶与热交换器的进口之间通过第一砂浆管连通，热交换器的出口连接有第二砂浆管，第二砂浆管的末端连接有用于将砂浆附着到金属线表面的砂浆供给装置在切割过程中，砂浆沿砂浆供给管进入盒体内并将其注满，砂浆继续供给会沿侧板的边缘溢出至切割箱内，由于金属线与压辊的接触点与底板之间的距离小于侧板的高度，因此，金属线会被压辊压入盒体内的砂浆中，这种浸入式的砂浆供给装置可以使得金属线表面沾满砂浆并实现均匀的附着，可以大大提高硅片的切割质量。适合在切割设备领域推广应用。

主权项

用于硅片的多线切割机，包括切割箱体(1)、砂浆桶(2)、热交换器(3)、金属线(4)，砂浆桶(2)与热交换器(3)的进口之间通过第一砂浆管(5)连通，热交换器(3)的出口连接有第二砂浆管(6)，所述第一砂浆管(5)上设置有第一砂浆泵(7)，所述切割箱体(1)内设置有两根互相平行的线辊(8)，线辊(8)表面设置有多个环形线槽，金属线(4)设置在环形线槽内并先后绕过两个线辊(8)绷紧，所述第二砂浆管(6)的末端连接有用于将砂浆附着到金属线(4)表面的砂浆供给装置(9)，切割箱底部设置有砂浆收集口(10)，砂浆收集口(10)上连接有砂浆收集管(11)，砂浆收集管(11)的末端与砂浆桶(2)相连，其特征在于：所述砂浆供给装置(9)包括设置在两个线辊(8)之间的盒体(901)，所述盒体(901)由底板(9011)和位于底板(9011)四周的侧板(9012)组成，所述盒体(901)上连接有砂浆供给管(902)，所述砂浆供给管(902)的末端与第二砂浆管(6)连通，所述盒体(901)的左右两侧的侧板(9012)顶端分别设置有第一支撑辊(903)、第二支撑辊(904)，所述盒体(901)上方设置有压辊(905)，所述压辊(905)和盒体(901)分别位于上层金属线(4)的上下两侧，所述第一支撑辊(903)、第二支撑辊(904)分别位于压辊(905)的左右两侧，所述盒体(901)长度方向与金属线(4)的运动方向互相垂直且盒体(901)的长度大于线辊(8)的长度，所述金属线(4)依次绕过第一支撑辊(903)、压辊(905)、第二支撑辊(904)呈V形，所述金属线(4)与压辊(905)的接触点与底板(9011)之间的距离小于侧板(9012)的高度。