位移检测装置

摘要

一种位移检测装置，其包括：光源；第一光束分光器，其适于将从光源发出的光分为第一光束和第二光束；反射构件，其适于反射第一光束；物镜，其适于将第二光束会聚在待测表面上；第一光接收部，其适于接收被反射的第一光束与被反射的第二光束的干涉光；相对位置信息输出部，其适于输出待测表面在高度方向上的相对位置信息；第二光束分光器，其适于取出被反射的第二光束的一部分；像散产生器，其适于在取出的第二光束中产生像散；第二光接收部，其适于接收具有像散的第二光束；和绝对位置信息输出部，其适于产生待测表面在高度方向上的绝对位置信息。

主权项

一种位移检测装置，其包括：第一光源和第二光源；第一光束分光器，其适于将从所述第一光源发出的光分成第一光束和第二光束；第一准直透镜，其适于准直由所述第一光束分光器分出的第一光束；反射构件，其适于反射由所述第一准直透镜准直的所述第一光束；物镜，其适于将由所述第一光束分光器分出的所述第二光束和从所述第二光源发出的第三光束准直并入射到待测表面上；第一光接收部，其适于接收由所述反射构件反射的所述第一光束与由所述待测表面反射的所述第二光束的干涉光；相对位置信息输出部，其适于基于由所述第一光接收部接收的所述干涉光的强度输出所述待测表面在高度方向上的相对位置信息；第二光束分光器，其适于从所述第一光束、所述第二光束和所述第三光束中取出由所述待测表面反射的所述第三光束；像散产生器，其适于在由所述第二光束分光器取出的所述第三光束中产生像散；第二光接收部，其适于接收已经由所述像散产生器产生像散的所述第三光束；和绝对位置信息输出部，其适于基于由所述第二光接收部所接收的光的强度产生所述待测表面在高度方向上的绝对位置信息，并且输出所产生的绝对位置信息。