一种阵列基板检测设备的探针框架及检测设备

摘要

本发明公开了一种探针框架，包括架体和设置在架体上的信号分配电路板，还包括：设置在架体上的电路板，电路板上设置有通孔，且电路板内设置有与通孔一一对应的多条信号传输线路，每一条信号传输线的一端伸入与其对应的通孔内，另一端与信号分配电路板的输出端电性连接；与所述通孔一一对应的多个探针，每一对所述探针与所述通孔，所述探针的一端插入所述通孔、且所述探针插入通孔的一端与该通孔内的信号传输线电性连接。各个探针与信号分配电路板之间的电性连接均通过电路板内的信号传输线实现，探针框架上的布线简单，且能够提高探针与信号分配电路板之间信号连接的稳定性。本发明还提供了一种具有上述探针框架的阵列基板检测设备。

主权项

一种阵列基板检测设备的探针框架，包括架体和设置在架体上的信号分配电路板，其特征在于，还包括：设置在架体上的信号传输电路板，所述信号传输电路板与所述架体滑动连接，所述信号传输电路板上设置有与阵列基板的检测引脚一一对应的通孔，且所述信号传输电路板内设置有与所述通孔一一对应的多条信号传输线路，每一条信号传输线的一端伸入与其对应的通孔内，另一端与信号分配电路板的输出端电性连接；与所述通孔一一对应的多个探针，每一对一一对应的所述探针与所述通孔中，所述探针的一端插入所述通孔、且所述探针插入通孔的一端与该通孔内的信号传输线电性连接；所述架体上设置有与探针对应的通槽。