发明名称 | 生产流程和可复用测试方法 | ||
摘要 | 实施例为一种生产流程和可复用测试方法。该方法包括提供包括管芯区域的基板。管芯区域包括焊盘图案的多部分,并且该多部分中的第一部分均包括第一一致焊盘图案。该方法进一步包括通过第一探针板探测第一部分中的第一个;将第一探针板移动至第一部分中的第二个;以及通过第一探针板探测第一部分中的第二个。 | ||
申请公布号 | CN103035549B | 申请公布日期 | 2015.12.02 |
申请号 | CN201210084621.3 | 申请日期 | 2012.03.27 |
申请人 | 台湾积体电路制造股份有限公司 | 发明人 | 王敏哲;彭经能;林鸿志;陈颢 |
分类号 | H01L21/66(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/66(2006.01)I |
代理机构 | 北京德恒律师事务所 11306 | 代理人 | 陆鑫;房岭梅 |
主权项 | 一种生产流程和可复用测试方法,包括:提供包括管芯区域的基板,所述管芯区域包括焊盘图案的多个部分,所述多个部分中的第一部分中的每一个部分均包括第一一致焊盘图案;通过第一探针板探测所述第一部分中的第一个第一一致焊盘图案;将所述第一探针板移动至所述第一部分的第二个第一一致焊盘图案;以及通过所述第一探针板探测所述第一部分的所述第二个第一一致焊盘图案,其中,提供所述基板的步骤包括在所述基板中形成所述管芯区域,形成所述管芯区域的步骤包括:将伪焊盘插入所述第一部分中的所述第一个第一一致焊盘图案、所述第一部分中的所述第二个第一一致焊盘图案、或者其组合。 | ||
地址 | 中国台湾新竹 |