| 发明名称 | 一种蒸发源、蒸镀装置、蒸镀方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种蒸发源、蒸镀装置、蒸镀方法，属于蒸镀设备技术领域，其可解决现有的蒸发源因喷嘴堵塞导致的所有有机蒸镀腔室停止使用、有机蒸镀材料浪费严重以及产量和器件性能降低的问题。本发明的蒸发源，包括坩埚，用于产生蒸镀气体；坩埚喷嘴，用于使所述蒸镀气体从所述坩埚中喷出，所述蒸发源还包括堵塞加热器，用于对所述坩埚喷嘴进行加热处理。 | ||
| 申请公布号 | CN105112856A | 申请公布日期 | 2015.12.02 |
| 申请号 | CN201510662557.6 | 申请日期 | 2015.10.14 |
| 申请人 | 京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司 | 发明人 | 胡海兵;田川 |
| 分类号 | C23C14/24(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/24(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人 | 汪源;陈源 |
| 主权项 | 一种蒸发源，包括坩埚，用于产生蒸镀气体；坩埚喷嘴，用于使所述蒸镀气体从所述坩埚中喷出，其特征在于，所述蒸发源还包括堵塞加热器，用于对所述坩埚喷嘴进行加热处理。 | ||
| 地址 | 100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号 | ||