低温恒温器

摘要

本发明能够减少源于制冷机的振动。低温恒温器具有：氦槽(2)，其收容液氦；制冷机(5)，其设置在氦槽(2)的上方，使在氦槽(2)内蒸发的液氦再液化；筒状构件(15)，其收容制冷机(5)的下部且形成与氦槽(2)连通的液化室(8)；以及缓冲罐(10)，其与氦槽(2)内的比液氦的液面靠上方的空间和液化室(8)的至少一方连通，且收容氦气。通过使缓冲罐(10)与氦槽(2)、液化室(8)连通，从而使氦槽(2)、液化室(8)的气相容积增大。

主权项

一种低温恒温器，其特征在于，具有：制冷剂槽，其收容液态的制冷剂；制冷机，其设置在所述制冷剂槽的上方，使在所述制冷剂槽内蒸发的制冷剂再液化；筒状构件，其收容所述制冷机的下部且形成与所述制冷剂槽连通的液化室；以及收容机构，其与所述制冷剂槽内的比液态的制冷剂的液面靠上方的空间和所述液化室的至少一方连通，且收容气态的制冷剂。