一种用于LIBS物质成分检测的自动聚焦方法及系统

摘要

本发明提供一种用于LIBS物质成分检测的自动聚焦方法及系统，能够获取稳定、高质量的光谱信号。所述方法包括：选择粗聚焦参考平面，并设置精聚焦的聚焦范围R、光谱积分波长范围RI、精聚焦次数N；加载待测样本，根据位移传感器测量到的参考平面与第一聚焦透镜之间的距离，调整聚焦位置，即第一聚焦透镜到待测样本表面的距离；根据设置的聚焦范围R、光谱积分范围RI、精聚焦次数N，按照预设的步距p改变聚焦位置同时进行光谱采集，确定每次采集到的光谱质量评价指标，并将最优光谱质量评价指标对应的聚焦位置确定为最优聚焦位置，完成本次自动聚焦。本发明适用于原子光谱检测技术领域。

主权项

一种用于LIBS物质成分检测的自动聚焦方法，其特征在于，包括：选择粗聚焦参考平面，并设置精聚焦的聚焦范围R、光谱积分波长范围RI、精聚焦次数N；加载待测样本，根据位移传感器测量到的参考平面与第一聚焦透镜之间的距离，调整聚焦位置，即第一聚焦透镜到待测样本表面的距离；根据设置的聚焦范围R、光谱积分范围RI、精聚焦次数N，按照预设的步距p改变聚焦位置同时进行光谱采集，确定每次采集到的光谱质量评价指标，并将最优光谱质量评价指标对应的聚焦位置确定为最优聚焦位置，完成本次自动聚焦。