一种绝对光栅尺的多轨道编码方法

摘要

本发明是一种绝对光栅尺的多轨道编码方法。为了解决微纳加工测量中，增量编码的累积误差和绝对编码的硬件复杂等问题，本发明使用一种基于单、多轨道适用的p元M序列伪随机码的绝对编码方式，本编码方式适用于直线绝对位置编码器、圆盘绝对角度编码器，可以在任何时候定位，不需要开机返零。并且带增量编码条，可以使用相位细分法提高测量精度。本编码是一种易于生成、复制和加工、编码容量大、解码成本低、宏微复合的绝对位置编码方法。本编码包括普通单轨二元M序列绝对光栅尺直线编码、M序列圆盘编码器、扩码方式多码道伪随机码直线编码、扩码方式p元M序列伪随机码，结合上述编码得到的最大编码方式。

主权项

一种绝对光栅尺的多轨道编码方法，其特征在于所述编码方法包括如下编码方式：1)单轨伪随机编码方式，光栅尺尺体上具有增量码道和单轨绝对码道，该单轨绝对码道为M序列伪随机码，光栅尺读数头上有增量码道读数头，用于生成读码同步信号，有单轨绝对码读数头，用于解码单轨绝对码道上的绝对编码；2)多轨二元伪随机码编码方式，是在单轨伪随机编码方法基础上，光栅尺尺体上增加多道伪随机码，且每条码道比上一伪随机码码道周期少1，光栅尺读数头增加相应码道读数头；3)多轨p元伪随机码编码方式，是在单轨伪随机编码方法基础上，每一个绝对编码位由原先的1位编码变成多位编码，光栅尺尺体上增加相应绝对编码码道，用于表示增加的编码位，光栅尺读数头增加相应码道读数头。