电气机械变换器及其制造方法

摘要

本申请公开了电气机械变换器及其制造方法。该电气机械变换器包括：包含基板、振动膜和被配置用于支撑振动膜使得在基板与振动膜之间形成间隙的振动膜的支撑部分的单元；和引线，该引线布置在基板上且绝缘体置于它们之间，并且该引线延伸到单元，其中绝缘体具有比支撑部分的厚度大的厚度。电气机械变换器可减小寄生电容以防止噪声的增加、带宽的减小和灵敏度的降低。

主权项

一种电气机械变换器，包括：基板；振动膜；所述振动膜的支撑部分，所述支撑部分被配置用于支撑所述振动膜使得在所述基板与所述振动膜之间形成间隙；所述基板上的绝缘体；以及引线，所述引线被布置在所述绝缘体上，并且所述引线延伸到所述振动膜，其中，所述绝缘体具有比所述支撑部分的厚度大的厚度。