光刻物镜中透镜轴向调整装置

摘要

光刻物镜中透镜轴向调整装置，属于深紫外投影光刻物镜装调与像差补偿领域，该装置镜片设置在上镜框，镜框固定在上膜片上，三个驱动器周向均匀设置于镜筒上驱动器，且与连接环点接触；上膜片和下膜片内环均与连接环固定，上膜片和下膜片外环均与镜筒固定；当上膜片外环和下膜片外环固定，三个驱动器沿轴向运动时，推动连接环，并将位移量作用在上膜片内环和下膜片内环上，上膜片内环和下膜片内环沿轴向运动时，利用上膜片内外环连接弹片和下膜片内外环连接弹片自身的弹性变形实现机构的轴向运动；同时由于上膜片内外环连接弹片和下膜片内外环连接弹片均沿周向均匀分布，能够保证轴向位移量均匀地作用在镜框组件上，从而实现透镜的轴向调整。

主权项

光刻物镜中透镜轴向调整装置，包括透镜(1‑2)、镜框(1‑1)、镜筒(2‑1)、上膜片(2‑2)、下膜片(2‑3)、连接环(2‑4)和三个驱动器(2‑5)；其特征是，所述透镜(1‑2)设置在镜框(1‑1)上组成镜框组件(1)，所述镜筒(2‑1)、上膜片(2‑2)、下膜片(2‑3)、连接环(2‑4)和驱动器(2‑5)组成轴向调整机构组件(2)，所述镜筒(2‑1)设置于上膜片(2‑2)和下膜片(2‑3)的外侧，连接环(2‑4)设置于上膜片(2‑2)和下膜片(2‑3)之间的内侧；驱动器(2‑5)设置于镜筒(2‑1)和连接环(2‑4)之间；所述镜框组件(1)安放在轴向调整机构组件(2)上；所述上膜片(2‑2)由上膜片内环(2‑2‑1)、上膜片外环(2‑2‑2)以及连接内外环的三处周向均布上膜片内外环连接弹片(2‑2‑3)组成，所述下膜片(2‑3)由下膜片内环(2‑3‑1)、下膜片外环(2‑3‑2)以及连接内外环的三处周向均布下膜片内外环连接弹片(2‑3‑3)组成，所述上膜片(2‑2)和下膜片(2‑3)的内环均与连接环(2‑4)固定，外环均与镜筒(2‑1)固定。