| 发明名称 | 一种剥离液供给系统 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种剥离液供给系统，包括：若干药槽，用于盛放剥离液；多个剥离设备单元，基于预定原则分组，且分组后同一组内的剥离设备单元连接至同一药槽，用以接收药槽供给的剥离液来对被剥离物进行剥离处理。本发明可以减化药槽使用数量，减化设备硬件结构，降低设备投资，有利于药液统一管理，改善药液导致的产品作业均匀性，从而有利于改善剥离液中杂质导致的光阻残留。 | ||
| 申请公布号 | CN105118770A | 申请公布日期 | 2015.12.02 |
| 申请号 | CN201510528506.4 | 申请日期 | 2015.08.25 |
| 申请人 | 武汉华星光电技术有限公司 | 发明人 | 杜海波 |
| 分类号 | H01L21/02(2006.01)I;H01L21/3105(2006.01)I;G03F7/42(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/02(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京聿宏知识产权代理有限公司 11372 | 代理人 | 张文娟;朱绘 |
| 主权项 | 一种剥离液供给系统，包括：若干药槽，用于盛放剥离液；多个剥离设备单元，基于预定原则分组，且分组后同一组内的剥离设备单元连接至同一药槽，用以接收药槽供给的剥离液来对被剥离物进行剥离处理。 | ||
| 地址 | 430070 湖北省武汉市东湖开发区高新大道666号生物城C5栋 | ||