发明名称 | 氧化防止气体吹出单元 | ||
摘要 | 本发明具备:中空板状的基体部(20),其在内部形成有氧化防止气体流路(30);孔(24),其以焊针(12)可抽出插入的方式设置于基体部(20),并与氧化防止气体流路(30)连通;及加热器(50),其是安装于基体部(20)的外表面;氧化防止气体流路(30)包含设置于基体部(20)的安装加热器(50)的外表面的附近的第一流路。藉此,在安装于打线接合装置的氧化防止气体吹出单元中,以小型的构造对无空气球有效地进行加热。 | ||
申请公布号 | CN105122434A | 申请公布日期 | 2015.12.02 |
申请号 | CN201380026062.3 | 申请日期 | 2013.04.15 |
申请人 | 株式会社新川 | 发明人 | 坂仓光昭;前田彻 |
分类号 | H01L21/60(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/60(2006.01)I |
代理机构 | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人 | 陶敏;臧建明 |
主权项 | 一种氧化防止气体吹出单元,其具备:中空板状的基体部,其在内部形成有氧化防止气体流路;孔,其以焊针可抽出插入的方式设置在所述基体部中,并与所述氧化防止气体流路连通;及加热器,其是安装在所述基体部的外表面,所述氧化防止气体流路包含设置在所述基体部的安装所述加热器的外表面的附近的第一流路。 | ||
地址 | 日本东京武藏村山市伊奈平二丁目51番地之1 |