用于气体输送的方法和设备

摘要

本文揭示了用于气体输送的方法和设备。在一些实施例中，气体输送系统包括：安瓿，该安瓿用于储存固态或液态前驱物；第一导管，该第一导管耦接至该安瓿且该第一导管具有耦接至第一气源第一末端，以将前驱物的蒸气从安瓿中抽取到第一导管中；第二导管，该第二导管在位于安瓿下游的第一接合处耦接至第一导管且该第二导管具有第一末端和第二末端，该第一末端耦接至第二气源而该第二末端耦接至处理腔室；和热源，该热源配置成加热安瓿和从安瓿至第二导管的第一导管的至少第一部分，以及加热第二导管的仅第二部分，其中该第二导管的第二部分包括第一接合处。

主权项

一种气体输送系统，所述气体输送系统包括：安瓿，所述安瓿用于储存固态或液态的前驱物；第一导管，所述第一导管耦接至所述安瓿，且所述第一导管具有耦接至第一气源的第一末端，以将所述前驱物的蒸气从所述安瓿抽取到所述第一导管中；第二导管，所述第二导管在位于所述安瓿下游的第一接合处耦接至所述第一导管，且所述第二导管具有第一末端和第二末端，所述第一末端耦接至第二气源，而所述第二末端耦接至处理腔室；和热源，所述热源配置成加热所述安瓿和所述第一导管的至少第一部分，以及加热所述第二导管的仅第二部分，所述第一部分从所述安瓿延伸至所述第二导管，其中所述第二导管的所述第二部分包括所述第一接合处。