| 发明名称 | 一种托盘 | ||
| 摘要 | 本实用新型公开了一种托盘，所述托盘包括盘状本体，盘状本体的两侧盘面上均设置有用于承载晶片的沉槽。本实用新型通过在盘状本体的两侧盘面上均设置沉槽，使盘状本体的两侧盘面都能够承载晶片，提高了托盘的利用率。而当两侧盘面上的沉槽的尺寸不同时，则进一步提高了托盘的适用性，实现了托盘的一盘多用，减少了托盘的数量，并由此降低了晶片的生产成本，减少了平常机台维护的工作量。 | ||
| 申请公布号 | CN204834580U | 申请公布日期 | 2015.12.02 |
| 申请号 | CN201520411273.5 | 申请日期 | 2015.06.15 |
| 申请人 | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 | 发明人 | 王伟 |
| 分类号 | H01L21/673(2006.01)I;H01L21/683(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/673(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京中创阳光知识产权代理有限责任公司 11003 | 代理人 | 尹振启 |
| 主权项 | 一种托盘，其特征在于，所述托盘包括盘状本体，所述盘状本体的两侧盘面上均设置有用于承载晶片的沉槽。 | ||
| 地址 | 100176 北京市大兴区经济技术开发区文昌大道8号 | ||