发明名称 Capacitive micro and/ or nanoelectronic device having increased compactness
摘要 Dispositif à élément mobile (13) s'étendant suivant un plan donné comportant au moins une première (3), une deuxième (10) et une troisième (12) couches s'étendant dans des plans parallèles au plan donné, la première couche (3) formant un support, la deuxième couche (10) comportant tout ou partie de l'élément mobile (13) et des moyens de suspension (11) de l'élément mobile (13) par rapport au support et la troisième couche (12) comprenant tout ou partie des moyens capacitifs dont la capacité varie en fonction de la position relative de l'élément mobile (13) par rapport au support (3), lesdits moyens capacitifs comportant au moins une électrode mobile (14) solidaire d'une des faces de l'élément mobile (13) parallèle au plan donné, et au moins une électrode fixe (16) par rapport au support (3), les électrodes fixe et mobile étant disposées au moins en partie dans un même plan parallèle au plan donné et au moins en partie au-dessus et/ou en dessous de l'élément mobile (13).
申请公布号 EP2949621(A1) 申请公布日期 2015.12.02
申请号 EP20150169015 申请日期 2015.05.22
申请人 COMMISSARIAT À L'ÉNERGIE ATOMIQUE ET AUX ÉNERGIESALTERNATIVES 发明人 ROBERT, PHILIPPE;JOET, LOÏC
分类号 B81B3/00 主分类号 B81B3/00
代理机构 代理人
主权项
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