| 主权项 |
MEMS陀螺仪的机械耦合误差抑制装置，其特征在于：包括上下两层，上层为振动机械结构，下层为玻璃衬底；所述玻璃衬底包括若干电极引线与若干键合点，所述电极引线包括公共电极、驱动电极与检测电极三种；所述振动机械结构包括两个左右对称放置的完全相同的单质量角速度测量单元子结构；振动机械结构四角处设有四个整体固定锚点，两个单质量角速度测量单元子结构之间连接有驱动耦合折叠梁，且两个单质量角速度测量单元子结构的上下各有一根横梁，且两个单质量角速度测量单元子结构同一侧的横梁相连；所述横梁通过基座直梁与整体固定锚点连接；在驱动模态下，两个单质量角速度测量单元子结构通过驱动耦合折叠梁建立关联，在检测模态下，两个单质量角速度测量单元子结构之间通过横梁建立关联；每个单质量角速度测量单元子结构均包括敏感质量、驱动机构、检测机构、结构稳固平衡梁、驱动折叠梁、检测折叠梁、驱动解耦梁、检测解耦梁与子结构固定锚点；所述驱动机构位于敏感质量的左右两侧，所述检测机构位于敏感质量的上下两侧，所述驱动机构与检测机构围成一个口字形，敏感质量位于口字形正中，口字形内部四角处设置有四个子结构固定锚点；所述驱动机构与敏感质量之间连有检测解耦梁，检测解耦梁位于敏感质量的上下两侧，驱动机构的运动方向为左右方向；检测机构与敏感质量之间连有驱动解耦梁，驱动解耦梁位于敏感质量的左右两侧，检测机构运动的平衡点在驱动解耦梁与检测机构的连接点处，且检测机构的运动方向为上下方向；驱动机构、检测机构、驱动解耦梁、检测解耦梁四者组成一个田字；驱动机构上下两侧设有驱动折叠梁，驱动折叠梁将驱动机构固定在子结构固定锚点上；检测机构左右；两侧设有检测折叠梁，检测折叠梁将检测机构固定在子结构固定锚点上；所述驱动折叠梁与检测折叠梁均匀离各自最近的子结构固定锚点相连；同时通过横梁下梁与横梁相连，所述横梁下梁位于检测机构靠近横梁的一侧；每个整体固定锚点与子结构固定锚点分别固接于玻璃衬底上的不同的键合点，使振动机械结构悬浮在玻璃衬底上；两个敏感质量各有一个公共电极与之相连。 |
