一种匀场及消相干装置

摘要

本发明涉及一种匀场及消相干装置，该装置包括：用于将激光整形成平行光束的前透镜；用于将所述平行光束进行匀场的匀光片和用于固定匀光片的匀光片支架。匀光片支架包括内环支架和外环支架，匀光片固定设置在内环支架上，内环支架通过间隔均匀的至少两个弹性连接件与外环支架连接。内环支架的外侧面上设置有至少一个永磁体，外环支架的外设有与永磁体相对应的电磁铁，随着电磁铁吸附力的大小变化以及所述弹性连接件的弹性力的作用，内环支架在外环支架内做振动运动。通过采用上述结构，激光束被匀光片匀化光强的同时，由于匀光片的振动，激光束的相位会被扰乱，从而实现在消相干的同时对激光进行匀场。

主权项

一种匀场及消相干装置，包括：用于将激光整形成平行光束的前透镜；用于将所述平行光束进行匀场的匀光片；其特征在于，该装置进一步包括匀光片支架，该匀光片支架包括：用于固定所述均光片的内环支架；外环支架；和连接在所述的内环支架与外环支架之间、间隔均匀的至少两个弹性连接件；以及设置在所述内环支架的外侧上的至少一个永磁体；以及至少一个电磁铁，电磁铁设置在所述外环支架外与所述永磁体对应的位置，在电磁铁吸附力和弹性连接件的弹性力作用下，所述内环支架在垂直于光路的平面内振动。