发明名称 一种微下拉定向生长异型近器件倍频晶体的方法
摘要 本发明涉及一种微下拉定向生长异型近器件倍频晶体的方法,通过计算和定向,切出特定位相匹配方向籽晶,采用电磁感应或电阻加热的方式熔化原料,熔体在重力和表面张力的作用下,由籽晶牵引实现晶体的微下拉定向生长。相比传统提拉法,本发明的方法可以更好地控制晶体的定向生长,并通过设计坩埚可以实现近器件尺寸的晶体生长。对于微下拉定向生长的倍频晶体器件,在后续器件加工过程中只需要简单的加工,即可满足使用要求,节约加工时间并节省原料,降低了制作成本。
申请公布号 CN105112990A 申请公布日期 2015.12.02
申请号 CN201510655805.4 申请日期 2015.10.12
申请人 山东大学 发明人 陶绪堂;原东升;贾志泰;李阳;高泽亮;张健
分类号 C30B15/00(2006.01)I;C30B29/22(2006.01)I 主分类号 C30B15/00(2006.01)I
代理机构 济南金迪知识产权代理有限公司 37219 代理人 张宏松
主权项 一种微下拉定向生长异型近器件倍频晶体的方法,包括步骤如下:(1)首先,计算出目标晶体的非线性系数空间分布,得出非线性系数较大的方向;根据实际应用找到特定非线性光学系数的方向,通过X射线衍射定向并切出相应的位相匹配方向的籽晶;(2)将籽晶竖直固定在籽晶杆末端;(3)根据目标晶体的反应化学计量比,配制反应组成物,经过烧结得到纯相多晶料;或者直接采用已经生长好的单晶作为原料,放入μ‑PD坩埚中;(4)将μ‑PD坩埚置于加热炉内,抽真空并在惰性气体保护下,采用电磁感应或电阻方式加热至原料熔化,过热保温0.5‑3小时,得到均匀的熔体;(5)将步骤(2)中的固定好的籽晶缓慢垂直向上送入加热炉内,使籽晶的顶端与坩埚下底部熔体接触;上升籽晶速度5‑8mm/h,接触熔体后保持15‑20分钟,依次经过放肩、等径、提脱、降温四个过程;其中,放肩生长的下拉速度为0.5‑1mm/h,等径部分生长速度0.5‑2mm/h;当晶体生长至所需尺寸时,提脱晶体,然后以30‑50℃/h的降温速度降至室温,得到目标晶体,即异型倍频晶体。
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