使用介质谐振器的微波等离子体谱仪

摘要

介质谐振器在其固有谐振频率被激励，以产生高度均匀的电场用于产生等离子。该等离子体可被用作光谱仪或质谱仪中的去溶剂化器、原子化激发源和电离源。

主权项

一种光学发射光谱仪或质谱仪，包括等离子体发生器，该等离子体发生器包括：具有中心轴线的介质谐振器结构；以及射频电源，该射频电源电耦合到该介质谐振器结构以促进围绕该轴线的在该介质谐振器结构的固有谐振频率下的交变极化电流，从而在相邻气体中产生等离子体。