| 发明名称 | 氧化锌前驱体和利用该前驱体沉积氧化锌类薄膜的方法 | ||
| 摘要 | 一种用于氧化锌类薄膜沉积的氧化锌前驱体，其包含具有以下通式的二茂锌或其衍生物：<img file="DDA00002426768300011.GIF" wi="390" he="256" />其中R1和R2为氢或C<sub>n</sub>H<sub>2n+1</sub>。n为选自1至3的数值，R1和R2选自由氢、甲基、乙基和异丙基组成的组中的至少一种。一种沉积氧化锌类薄膜的方法包括以下步骤：将基板装入沉积室中；并将上述氧化锌前驱体和氧化剂供给到沉积室中并通过化学气相沉积法在基板上形成氧化锌类薄膜。在一个示例性实施方式中，氧化锌类薄膜可以通过常压化学气相沉积法沉积在基板上。 | ||
| 申请公布号 | CN103122454B | 申请公布日期 | 2015.12.02 |
| 申请号 | CN201210469711.4 | 申请日期 | 2012.11.19 |
| 申请人 | 康宁精密素材株式会社 | 发明人 | 朴洙昊;金序炫;朴正佑;朴兑正;刘泳祚;尹根尚;崔殷豪;金荣云;金保京;申亨秀;尹承镐;李相度;李相益;任相俊 |
| 分类号 | C23C16/40(2006.01)I;C07F17/00(2006.01)I | 主分类号 | C23C16/40(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人 | 康泉;王珍仙 |
| 主权项 | 一种沉积氧化锌类薄膜的方法，所述方法包括:将基板装入沉积室中；和将氧化锌前驱体和氧化剂供给到所述沉积室中并通过化学气相沉积法在所述基板上形成所述氧化锌类薄膜；所述氧化锌前驱体包含具有以下通式的二茂锌或其衍生物：<img file="FDA0000723462280000011.GIF" wi="416" he="285" />其中R1和R2为氢或C<sub>n</sub>H<sub>2n+1</sub>。 | ||
| 地址 | 韩国忠清南道 | ||