分光特性测量方法以及分光特性测量装置

摘要

提供一种分光特性测量方法以及分光特性测量装置，用于更高精度地测量被测量光的分光特性。分光特性测量方法包括以下步骤：使波长范围为第二波长范围的光入射到在第一波长范围具有检测灵敏度的分光测量器，第二波长范围为上述第一波长范围的一部分；从与由分光测量器检测出的第一光谱中的第二波长范围以外的范围相对应的部分中获取表示杂散光成分的特性信息；以及对特性信息进行外插处理直至第一波长范围中的第二波长范围为止，来获取表示产生于上述分光测量器的杂散光成分的图案。

主权项

一种分光特性测量方法，具备以下步骤：配置了滤光片之后使光入射到在第一波长范围具有检测灵敏度的分光测量器，其中，上述滤光片具有截止第二波长范围以外的波长范围的光的特性，上述第二波长范围为上述第一波长范围的一部分；从由上述分光测量器检测出的滤光后的光的第一波长范围中的与上述第二波长范围以外的波长范围相对应的部分中获取表示杂散光成分的特性信息；以及对上述特性信息从上述第二波长范围以外的波长范围至上述第二波长范围为止进行外插处理，来获取表示产生于上述分光测量器的杂散光成分的图案。