盖体开闭装置

摘要

本发明提供盖体开闭装置。盖体开闭装置是FOUP的开闭装置，通过使FOUP的基板取出口的口缘部紧贴于利用开闭门开闭的输送口的口缘部，并使设置在开闭门的盖体拆卸机构经由FOUP的盖体的前表面侧的开口部进入盖体内，来解除盖体与FOUP主体的卡合并保持该盖体，输送口形成于用于划分FOUP的输送区域的气氛与基板输送区域的气氛的隔壁上，盖体开闭装置包括：排气口，其用于对形成在紧贴于输送口的口缘部的FOUP与开闭门之间的被封闭的空间的气氛进行排气；吹扫气体喷出部，其设于开闭门，经由盖体的前表面侧的开口部进入盖体的内部空间，向内部空间喷出吹扫气体而将内部空间的气氛从盖体的与该开口部不同的开口部向封闭空间排出。

主权项

一种盖体开闭装置，其是FOUP的开闭装置，该盖体开闭装置通过使FOUP的基板取出口的口缘部紧贴于利用开闭门进行开闭的输送口的口缘部，并使设置在所述开闭门上的盖体拆卸机构经由FOUP的盖体的前表面侧的开口部进入盖体内，来解除盖体与FOUP主体的卡合并保持该盖体，所述输送口形成于用于划分FOUP的输送区域的气氛与基板输送区域的气氛的隔壁上，其特征在于，该盖体开闭装置包括：排气口，其用于对形成在紧贴于所述输送口的口缘部的FOUP与所述开闭门之间的封闭空间的气氛进行排气；吹扫气体喷出部，其设于所述盖体拆卸机构上，经由所述盖体的前表面侧的开口部进入盖体的内部空间，向该内部空间喷出吹扫气体，从而将所述内部空间的气氛从盖体的与该开口部不同的开口部向所述封闭空间排出。