多晶硅铸锭热场结构

摘要

一种多晶硅铸锭热场结构，包括炉体、底板、隔热笼、石墨导热块、加热器以及隔热条，底板固定于炉体内，隔热笼固定于炉体内，隔热笼包括与底板可拆卸连接的侧壁，石墨导热块固定于隔热笼内，加热器固定于隔热笼内，加热器覆盖于石墨导热块上方，隔热条固设于隔热笼的侧壁上，隔热条沿朝向隔热笼中心方向延伸，并与底板具有间隙，以将隔热笼内部分成高温区及低温区。本实用新型提供的多晶硅铸锭热场结构通过在隔热笼侧壁上设置隔热条，从而将隔热笼的内部分成高温区及低温区，在长晶过程中，当隔热笼往上移动时，由于隔热条固定于隔热笼上，故而隔热条也跟着隔热笼往上移动，使生长出来的晶体能及时进入低温区，长晶的速度更加稳定并且晶体质量高。

主权项

一种多晶硅铸锭热场结构，其特征在于，所述多晶硅铸锭热场结构包括炉体、底板、隔热笼、石墨导热块、加热器以及隔热条，所述底板收容并固定于所述炉体内，所述隔热笼收容并固定于所述炉体内，所述隔热笼包括侧壁，所述侧壁与所述底板可拆卸连接，所述石墨导热块收容并固定于所述隔热笼内，所述加热器固定收容于所述隔热笼内，并且所述加热器覆盖于所述石墨导热块上方，所述隔热条设于所述侧壁上，并且所述隔热条沿朝向所述隔热笼的中心方向延伸，所述隔热条与所述底板之间具有间隙，以将所述隔热笼的内部分成低温区以及高温区。