微型光纤法珀压力传感器的制作装置及相应的制作方法

摘要

本发明公开了一种微型光纤法珀压力传感器的制作装置，该装置包括：熔接模块，用于熔接光纤与空心玻璃管；切割模块，与熔接模块固定连接，用于与成像模块和第一运动模块、第二运动模块相配合，对于膜片和法珀腔的腔长进行精密的定位和切割；第一运动模块和第二运动模块，用于带动待处理物体运动，辅助切割模块进行切割；成像模块用于精确测量待处理物体的切割端面角度，并通过采集的图像观察法珀腔的质量，监测法珀腔的几何特性；监测模块用于实时监测法珀腔的质量，监测法珀腔的光学特性。本发明解决了现有法珀腔制作的膜片连接困难、腔长难以调控和膜片减薄等技术难点，大大提高了微型光纤法珀压力传感器制作成功率，并且提高了制作工艺一致性。

主权项

一种微型光纤法珀压力传感器的制作装置，其特征在于，该制作装置包括：熔接模块，切割模块，第一运动模块、第二运动模块，成像模块和监测模块，其中：所述熔接模块用于熔接光纤与空心玻璃管；所述切割模块与所述熔接模块固定连接，用于与所述成像模块和第一运动模块、第二运动模块相配合，对于膜片和法珀腔的腔长进行精密的定位和切割；所述第一运动模块和第二运动模块用于带动待处理物体运动，辅助所述切割模块进行切割；所述成像模块用于精确测量待处理物体的切割端面角度，并通过采集的图像观察法珀腔的质量，监测法珀腔的几何特性；所述监测模块用于在制作法珀压力传感器时，实时监测法珀腔的质量，监测法珀腔的光学特性。