一种钠掺杂钼平面靶材的制备方法

摘要

本发明公开了一种钠掺杂钼平面靶材的制备方法，该方法为：一、将钼粉和二水合钼酸钠的混合粉末与去离子水搅拌均匀，喷雾干燥处理后得到钠掺杂钼颗粒；二、将钠掺杂钼颗粒装入冷等静压模具后密封，然后进行冷等静压压制，压制后去除冷等静压模具，得到板坯；三、对板坯进行包套处理，然后抽真空密封；四、将板坯热压烧结，然后进行去包套处理，得到钠掺杂钼平面靶材。本发明制备成本低、材料利用率高且靶材中Na含量和组织可控、产品一致性好，能够较好的满足工业化生产用钠掺杂钼平面靶材的需求。

主权项

一种钠掺杂钼平面靶材的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤一、将钼粉和二水合钼酸钠的混合粉末与去离子水搅拌均匀，喷雾干燥处理后得到钠掺杂钼颗粒；所述混合粉末中二水合钼酸钠的质量含量为5.26％～26.3％，余量为钼粉，所述钼粉的平均粒度为2.0μm～3.0μm，所述钼粉的粒度分布为1μm～10μm，所述去离子水的用量为钼粉质量的5％～20％；步骤二、将步骤一中所述钠掺杂钼颗粒装入冷等静压模具后密封，在压力为160MPa～200MPa的条件下进行冷等静压压制，压制后去除冷等静压模具，得到板坯；步骤三、对步骤二中所述板坯进行包套处理，然后将包套处理后的板坯抽真空密封；步骤四、在温度为1200℃～1600℃，压力为45MPa～55MPa的条件下将步骤三中经抽真空密封后的板坯热压烧结3h～5h，然后对热压烧结后的板坯进行去包套处理，得到钠掺杂钼平面靶材。