发明名称 |
用于不同波长带及像素尺寸之最佳功率输出之可切换雷射及基于光纤之灯箱;SWITCHABLE LASER AND FIBER BASED LAMPHOUSE FOR OPTIMAL POWER OUTPUT IN DIFFERENT WAVELENGTH BANDS AND PIXEL SIZES |
摘要 |
本发明揭示用于提供雷射持续之电浆光源之系统及方法。与其中在灯箱中使用一个光纤尺寸及一个波长组合来产生不同带及像素尺寸之光之用雷射持续之电浆光源不同,提供可切换光纤尺寸及波长组合用于不同波长带及像素尺寸之最佳功率输出。更具体而言,提供其中具有较高泵激功率之较大光纤用于较大像素尺寸及较高波长带而较小光纤用于较小像素尺寸及较短波长带的可切换光纤组态。此外及/或另一选择系,提供其中接近于气体填充之吸收峰值之泵激波长用于较大像素尺寸而远离该气体填充吸收峰值之泵激波长用于较小像素尺寸的泵激方案。 |
申请公布号 |
TW201545608 |
申请公布日期 |
2015.12.01 |
申请号 |
TW104108664 |
申请日期 |
2015.03.18 |
申请人 |
克莱谭克公司 KLA-TENCOR CORPORATION |
发明人 |
奇玛吉 亚纳特 CHIMMALGI, ANANT;亚达夫 拉赫 YADAV, RAHUL;威坦伯格 约书亚 WITTENBERG, JOSHUA |
分类号 |
H05H1/48(2006.01);F21V8/00(2006.01) |
主分类号 |
H05H1/48(2006.01) |
代理机构 |
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代理人 |
陈长文 |
主权项 |
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地址 |
美国 US |