半导体结构;SEMICONDUCTOR STRUCTURE

摘要

一种半导体结构，包括一矽基板、一缓冲层、一氮化物磊晶结构层以及复数个不连续性应力释放层。缓冲层配置于矽基板上。氮化物磊晶结构层配置于缓冲层上。不连续性应力释放层配置于矽基板与氮化物磊晶结构层之间，其中不连续性应力释放层的材质为氮化矽。