发明名称 基板分断装置及基板分断装置之基板搬送方法
摘要
申请公布号 TWI510444 申请公布日期 2015.12.01
申请号 TW102105822 申请日期 2013.02.20
申请人 三星钻石工业股份有限公司 发明人 西尾仁孝
分类号 C03B33/02;B65G49/06 主分类号 C03B33/02
代理机构 代理人 阎启泰 台北市中山区长安东路2段112号9楼;林景郁 台北市中山区长安东路2段112号9楼
主权项 一种基板分断装置,其特征在于:包含:第1传送部及第2传送部,系于设置台上,沿基板之搬送方向即第1方向相互地隔着间隔而配置,且具备在载置有该基板之状态下卷绕于多个辊子而进行旋转之带部;刻划单元,系设置于该第1传送部与第2传送部之间并对该基板进行刻划;以及跳动辊子单元,系于该第1方向,设置在位于该第2传送部之上游侧之上游侧第2传送部与位于下游侧之下游侧第2传送部之间,且至少具备第1辊子及第2辊子;该第1辊子,位于该第2传送部之带部外侧,且该第2辊子,位于该第2传送部之带部内侧;该第1辊子及该第2辊子,于与该第1方向交叉之第2方向,形成为可相互地往相反方向移动,且形成为一体之该上游侧第2传送部与该下游侧第2传送部,可成为互为不同之作动状态。
地址 日本