| 主权项 |
一种用于工件(14)之雷射加工的装置，具有一能够产生彼此夹一角度(α)的第一雷射束(L1)及第二雷射束(L2)的装置(6)，以及一将雷射束(L1、L2)导引及聚焦到工件上方及/或工件上的偏转及聚焦单元(10)，其中雷射束(L1、L2)在彼此垂直的方向上被线性偏振，其中产生雷射束(L1、L2)的装置(6)具有一设置在偏转及聚焦单元之前的雷射束导引装置(8)，且该雷射导引装置(8)具有一可改变至少一个雷射束(L2)之传播方向的可调整的反射镜装置，其中雷射束导引装置(8)具有一设置在偏转及聚焦单元(10)之前的部分透明的终端反射镜(26)，其作用是将一部分雷射束偏转到偏转及聚焦单元(10)，以及让另外一部分雷射束透过，其中透过的部分雷射束(TL1、TL2)被导入一偏振雷射束分束器(28)，其作用是将透过的部分雷射束(TL1、TL2)分开，同时至少有一从偏振雷射束分束器(28)发出的部分雷射束(TL1、TL2)被导入一雷射束位置侦测器(30-1、30-2)。
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