光学单元、照明光学装置、曝光装置、以及元件制造方法

主权项

一种照明光学装置，系以照明光照明形成有图案之光罩，具备：光学积分器，配置于该照明光之光路；空间光调变器，包含沿既定面排列并设置于该光学积分器之入射侧中的该照明光之光路的复数个反射面，且控制该复数个反射面，使该照明光学装置之照明光瞳中的该照明光分布于从该照明光学装置之光轴分离的区域；均一化光学元件，配置于该空间光调变器之入射侧中的该照明光之光路，用于使该复数个反射面中的该照明光之强度均一化；偏光元件，配置于该均一化光学元件与该光学积分器之间的该照明光之光路，使该照明光之偏光状态，从以既定之一方向作为偏光方向的直线偏光为主成分的直线偏光状态，变换成包含偏光方向互为不同之第1直线偏光及第2直线偏光的直线偏光状态；该偏光元件，以使来自该均一化光学元件之该照明光中射入于该复数个反射面中的一部分反射面的第1光束及射入于另一部分反射面的第2光束，分别成为以该第1直线偏光为主成分之偏光状态及以该第2直线偏光为主成分之偏光状态的方式，变换该照明光之偏光状态；该空间光调变器，以使来自该偏光元件之该第1光束分布于该照明光瞳之第1区域，使来自该偏光元件之该第2光束分布于该照明光瞳之第2区域的方式，控制该复数个
反射面，且该第1区域及该第2区域系互为不同之区域。