基板支撑装置

摘要

本发明揭示了一种用于支撑基板的基板支撑装置，包括：夹盘、第一流量控制器、第二流量控制器、数个定位销、数个导柱及驱动器。夹盘开设有若干第一气孔和若干第二气孔，若干第一气孔与第一气体通道连接，透过该若干第一气孔向基板喷射气体并利用伯努利原理吸附保持基板，若干第二气孔与第二气体通道连接，透过该若干第二气孔向基板喷射气体并吹浮起基板。第一流量控制器和第二流量控制器分别安装在第一气体通道和第二气体通道内。数个定位销和数个导柱分别布置在夹盘的顶表面，每个导柱的底部凸伸形成支撑部。驱动器驱动夹盘旋转。