发明名称 |
感光性树脂组成物、感光性元件、抗蚀剂图案的形成方法及印刷配线板的制造方法;PHOTOSENSITIVE RESIN COMPOSITION, PHOTOSENSITIVE ELEMENT, METHOD OF FORMING RESIST PATTERN AND METHOD OF PRODUCING PRINTED CIRCUIT BOARD |
摘要 |
本发明提供一种感光性树脂组成物,其含有:(A)成分:黏合剂聚合物;(B)成分:光聚合性化合物;(C)成分:光聚合起始剂;以及(D)成分:聚四亚甲基氧化物化合物,具有[-(C4 H8 O)n-:n为2以上的数]作为结构单元,且可相当于选自由(A)成分、(B)成分及(C)成分所组成的组群中的至少一种的一部分或全部;并且感光性树脂组成物的不挥发分的酸价为小于120 mgKOH/g。 |
申请公布号 |
TW201544904 |
申请公布日期 |
2015.12.01 |
申请号 |
TW104115223 |
申请日期 |
2015.05.13 |
申请人 |
日立化成股份有限公司 HITACHI CHEMICAL COMPANY, LTD. |
发明人 |
木村尙弘 KIMURA, NAOHIRO;藤井彻文 FUJII, TETSUFUMI;小野博史 ONO, HIROSHI |
分类号 |
G03F7/028(2006.01);G03F7/032(2006.01);C08L33/08(2006.01);H01L21/027(2006.01) |
主分类号 |
G03F7/028(2006.01) |
代理机构 |
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代理人 |
叶璟宗郑婷文詹富闵 |
主权项 |
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地址 |
日本 JP |