发明名称 感光性树脂组成物、感光性元件、抗蚀剂图案的形成方法及印刷配线板的制造方法;PHOTOSENSITIVE RESIN COMPOSITION, PHOTOSENSITIVE ELEMENT, METHOD OF FORMING RESIST PATTERN AND METHOD OF PRODUCING PRINTED CIRCUIT BOARD
摘要 本发明提供一种感光性树脂组成物,其含有:(A)成分:黏合剂聚合物;(B)成分:光聚合性化合物;(C)成分:光聚合起始剂;以及(D)成分:聚四亚甲基氧化物化合物,具有[-(C4 H8 O)n-:n为2以上的数]作为结构单元,且可相当于选自由(A)成分、(B)成分及(C)成分所组成的组群中的至少一种的一部分或全部;并且感光性树脂组成物的不挥发分的酸价为小于120 mgKOH/g。
申请公布号 TW201544904 申请公布日期 2015.12.01
申请号 TW104115223 申请日期 2015.05.13
申请人 日立化成股份有限公司 HITACHI CHEMICAL COMPANY, LTD. 发明人 木村尙弘 KIMURA, NAOHIRO;藤井彻文 FUJII, TETSUFUMI;小野博史 ONO, HIROSHI
分类号 G03F7/028(2006.01);G03F7/032(2006.01);C08L33/08(2006.01);H01L21/027(2006.01) 主分类号 G03F7/028(2006.01)
代理机构 代理人 叶璟宗郑婷文詹富闵
主权项
地址 日本 JP