对紫外线损伤具低感受性之Wynne-Dyson投射透镜;WYNNE-DYSON PROJECTION LENS WITH REDUCED SUSCEPTIBILITY TO UV DAMAGE

摘要

本发明揭露一种用于紫外线光学微影系统的Wynne-Dyson投射透镜，其中Wynne-Dyson投射透镜是设置以对于源自紫外光辐射所造成的损伤具有低感受性。Wynne-Dyson投射透镜所使用的透镜元件是由可抵抗因紫外光辐射而造成损伤的光学镜片所制成，Wynne-Dyson投射透镜亦具有足够的自由度以校正像差。用于透镜元件的玻璃种类选自由石英、S-FPL51Y、S-FSL5Y、 BSM51Y 及BAL15Y所组成之光学玻璃的群组。