薄膜涂布方法

主权项

一种以双刮刀狭缝涂布装置进行薄膜涂布的方法，包含：提供一基板；提供一双刮刀狭缝涂布装置，该双刮刀狭缝涂布装置系具有一第一刮刀、一第二刮刀及一进料喷嘴，其中该进料喷嘴系设置在该第一刮刀与该第二刮刀之间的一狭缝中，该第一刮刀及该第二刮刀系沿着该基板之垂直方向平行设置于该基板上；涂布一涂料于该基板上，其中该双刮刀狭缝涂布装置沿着该基板之一垂直方向移动时，该涂料系同时藉由该进料喷嘴进入该狭缝，使得该双刮刀狭缝涂布装置一边移动该涂料一边藉由该进料喷嘴下料，当该涂料经由该狭缝涂布于该基板上时，该涂料会经由该第一刮刀对该涂料进行第一次平坦化步骤，接着当该第二刮刀经过该涂料时进行第二次平坦化步骤；对该涂料进行一加热制程，以防止该涂布于该基板上以形成该薄膜与该薄膜之间互溶，其中该加热制程温度范围约为300℃至500℃；以及重覆该涂布该涂料于该基板上之步骤，直到该涂料涂布于该基板以形成具有一定且均匀厚度之一薄膜。